복합 무선 주파수 파형에 대한 매칭 회로

Matching circuit for a complex radio frequency (rf) waveform

Abstract

복합 파형 주파수 매칭 디바이스가 개시된다. 다양한 실시형태에서, 복합 파형 주파수 매칭 디바이스는 서로 병렬로 커플링된 복수의 무선 주파수 발생기들을 포함한다. 복수의 무선 주파수 발생기들의 각각의 후속 무선 주파수 발생기는 임의의 더 낮은 주파수 생성 무선 주파수 발생기에 의해 생성된 주파수에 대해 정수배로 관련된 고조파 주파수를 생성함으로써, 복합 파형을 발생시키도록 구성된다. 복수의 주파수 스플리터 회로는 복수의 무선 주파수 발생기의 출력부에 커플링되고, 복수의 매칭 네트워크들 각각은 복수의 주파수 스플리터 회로들 중 하나의 주파수 스플리터 회로의 출력부에 커플링된 입력부 및 플라즈마 챔버에 커플링되도록 구성된 출력부를 갖는다.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle