Manufacturing equipment for substrate for testing, and method and program of manufacturing substrate for testing

시험용 기판 제조 장치, 시험용 기판 제조 방법, 및 프로그램

Abstract

피시험 웨이퍼에 형성된 복수의 피시험 디바이스를 시험하는 복수의 시험 회로가 형성된 시험용 기판을 제조하는 시험용 기판 제조 장치에 있어서, 복수 종류의 시험 내용에 대응하여, 복수 종류의 시험 회로의 회로 데이터를 격납하는 시험 회로 데이터 베이스와, 피시험 디바이스의 디바이스 패드의 배치 및 각 디바이스 패드에 대응하여 실시해야 하는 시험 내용을 정의한 정의 정보를 격납하는 정의 정보 격납부와, 각각의 디바이스 패드에 접속해야 할 시험 회로의 회로 데이터를, 정의 정보 격납부가 격납한 정의 정보에 정의되는 시험 내용에 기초하여, 시험 회로 데이터 베이스로부터 선택하고, 각각의 회로 데이터를 노광해야 할 시험용 기판 상의 위치를, 정의 정보에 정의되는 디바이스 패드의 배치에 기초하여 정하는 것으로, 시험용 기판에 대한 노광 데이터를 생성하는 노광 데이터 생성부를 포함하는 시험용 기판 제조 장치를 제공한다.

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